測(cè)量精度高,延遲度精度+/-0.01nm,
測(cè)量速度快,定點(diǎn)測(cè)量 1 秒可測(cè) 10 次
系統(tǒng)集成隔振裝置,保證翹曲度測(cè)量的準(zhǔn)確性
中/英文操作軟件,方便使用
可設(shè)置實(shí)時(shí)測(cè)量顯示單點(diǎn)或區(qū)域,可設(shè)置測(cè)量點(diǎn)的間距
可切換測(cè)量單位(延遲度 nm,雙折射 nm/cm,應(yīng)力 PSI 或 MPa),可選擇測(cè)量結(jié)果顯示方式(2D 彩色圖,3D 彩色圖,圓圈圖等)
激光器:633nm激光器
光斑大?。褐睆健?mm
測(cè)量平臺(tái)高度:可定制(根據(jù)客戶要求)
PC:專用(Windows 10、測(cè)量軟件已安裝)
電源:AC220V±5V 5A
測(cè)量的玻璃基板尺寸:可定制(根據(jù)客戶要求)
玻璃基板厚度:0.3~1.0mm 或更大
延遲度 :測(cè)量范圍:0~120 nm ,分 辨 率:≤0.001nm 16.重復(fù)精度: ±0.01 nm (延遲 < 1 nm) or ± 1% (延遲度 > 1 nm) 。
角度: 分 辨 率:≤0.01° 重復(fù)精度:≤±0.05°(5nm延遲度下的正常值)
X\\Y電動(dòng)調(diào)節(jié)范圍(軟件控制)